Halvledervakuumsystem er et af nøgleudstyret, der bruges til at fremstille halvlederenheder. Det er et lukket system i et meget rent lavtryksmiljø til håndtering og behandling af halvledermaterialer og -enheder.
I halvledervakuumsystemer bruges højtydende gummitætninger ofte på grund af kravene til høj renlighed og lav lækagehastighed. Her er nogle almindelige gummitætningstyper:
Viton (FPM) tætninger: Viton er en kemisk og højtemperaturbestandig fluorelastomer, der er meget udbredt i vakuumsystemer. Den har fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og lav gaspermeabilitet, hvilket gør den velegnet til tætningskrav, der modstår højvakuum og høje temperaturmiljøer.
Nitril (NBR) Tætninger: Nitril er et syntetisk gummi til almen brug med god olie- og slidstyrke. I halvledervakuumsystemer bruges nitriltætninger hovedsageligt i nogle ikke-højtemperatur, ikke-ætsende applikationer, såsom lavvakuum og gasrørledningsforbindelser.
Silikone (VMQ) tætning: Silikone er en højtemperaturbestandig silikonegummi med god elasticitet og varmebestandighed. Det bruges ofte i halvledervakuumsystemer til at modstå tætningskrav i højtemperaturmiljøer, såsom varmebehandling, udglødning og højtemperaturdamprensning.
EPDM tætning: EPDM er en ethylen propylen gummi med god oxidationsbestandighed, syre- og alkalibestandighed. I halvledervakuumsystemer bruges EPDM-tætninger ofte i ikke-højtemperatur, ikke-korrosive applikationer såsom lavvakuum og gastransmissionsrørledninger.
Disse gummitætninger har forskellige egenskaber og anvendelsesområder. Ved valg af en passende tætning skal faktorer som systemets arbejdsforhold, temperaturområde, mediumegenskaber og trykkrav tages i betragtning. Derudover skal fremstillings- og installationsprocessen af tætninger også følge strenge proceskrav for at sikre tætningsydelse.
I halvledervakuumsystemer anvendes der udover gummitætninger ofte gummipakninger for at opnå effektiv tætning. Her er nogle almindelige gummitætningstyper:
O-ringpakning: O-ring er en gummipakning med et cirkulært tværsnit og er meget udbredt i halvledervakuumsystemer. Den har god tætningsevne og kompressionsdeformationsevne og kan tilpasse sig forskellige tætningskrav, såsom rørforbindelser, ventiler, samlinger osv.
Flad tætning: En flad tætning er en flad gummitætning, der almindeligvis anvendes til flangeforbindelser i halvledervakuumsystemer. Den opnår tætning gennem kontakt med flangeoverfladen og er normalt lavet af højtemperatur kemikaliebestandigt gummimateriale såsom Viton eller Silikone.
U-formet pakning: U-formet pakning er en U-formet tværsnits gummipakning, der er egnet til specifikke tætningsbehov i halvledervakuumsystemer. Det bruges ofte til at forsegle stempler, stempelstænger, cylindre og andre komponenter og har god tætningsevne og modstandsdygtighed over for kompressionsdeformation.
V-formet pakning: V-formet pakning er en gummipakning med V-formet tværsnit, der almindeligvis anvendes til ventiler og roterende akseltætninger i halvledervakuumsystemer. Den opnår effektiv tætning gennem kontakt med tætningsfladen og har god tætnings- og slidstyrke.
Valget af disse gummitætninger bestemmes ud fra specifikke tætningskrav, arbejdsforhold og medieegenskaber. Samtidig er materialevalget af pakningen også meget vigtigt. Almindeligt anvendte materialer omfatter Viton, Nitril, Silikone osv. Det specifikke valg bør tage hensyn til faktorer som temperaturområde, kemisk korrosionsbestandighed og gaslækagehastighed. Ved montering af pakningen skal man være opmærksom på at holde tætningsfladen ren og sikre, at pakningen er installeret og presset korrekt for at opnå en god tætningseffekt.
Populære tags: halvledervakuumsystemtætninger, Kina halvledervakuumsystemtætninger fabrikanter, leverandører, fabrik
